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射頻(RF)等離子體

更新時(shí)間:2024-01-03

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簡(jiǎn)要描述:

供應SAT 520Pro射頻(RF)等離子體,賽奧特(SAT)/射頻(RF)等離子體秉承滿(mǎn)足市場(chǎng)需求、保證產(chǎn)品質(zhì)量、不斷研發(fā)創(chuàng )新、全面實(shí)現自主研發(fā)生產(chǎn)、完善的售后服務(wù),從事等離子體行業(yè)時(shí)間久,客戶(hù)基礎好,遍布全國的高校、研究所、企業(yè),同時(shí)海外市場(chǎng)銷(xiāo)售有加拿大、沙特阿拉伯等。

品牌賽奧特(SAT)產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域化工,電子,汽車(chē),電氣,綜合

賽奧特(SAT)/射頻(RF)等離子體/SAT 520Pro

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應用領(lǐng)域 

賽奧特(SAT)/射頻(RF)等離子體/SAT 520Pro適用于材料科學(xué)、光學(xué)、光電子學(xué)、生命科學(xué)、電子學(xué)、生物醫學(xué)、半導體、高分子科學(xué)、微觀(guān)流體學(xué)等領(lǐng)域.

主要實(shí)驗應用  1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡(jiǎn)單刻蝕 7.去除表面有機物  8.疏水實(shí)驗  9.沉積實(shí)驗  10.形成新的基團  11.鍍膜前處理等

技術(shù)特點(diǎn) 

1.實(shí)時(shí)檢測和顯示真空度,使得設備在智能控制下有了可靠的依據.

2.真空值可自由設定,(范圍:10—60)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動(dòng)環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實(shí)驗效果的準確性和可靠性.

3.真空腔體采用鉸鏈側開(kāi)門(mén)結構,帶有觀(guān)察窗,材料為6061材質(zhì).

4.腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.

5.電容式(CCP)激發(fā),實(shí)驗效果穩定,均勻可靠,電極板置于樣品倉內頂部懸掛.

6.采用觸摸屏顯示控制,手動(dòng),自動(dòng)兩種模式任意切換.

7.程序化設計,預先編輯好程序,儀器自動(dòng)完成實(shí)驗.

8.利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體的反應活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學(xué)反應,使材料表面成分、組成和結構發(fā)生變化,并能得到某些特定的基團。

9.無(wú)需耗材,使用成本低,無(wú)需特殊進(jìn)行維護,在日常使用中保持儀器清潔即可。

技術(shù)規格 

1.樣品腔體尺寸:255(深度)X155(直徑)mm ,不銹鋼材質(zhì).

2.放置樣品托盤(pán)尺寸:150()X230(長(cháng))mm,材質(zhì):6061鋁氧化本色

3.射頻頻率:13.56MHz,配置自動(dòng)匹配器.

4.射頻功率:150W,0150W可調,精度:1.

5.輝光放電功率:10W--150W

6.輝光放電時(shí)間設定:1秒到9959.

7.氣路設置:3氣路(2路進(jìn)氣,一路放空).

8.工作氣體穩定時(shí)間:可調,可設定,范圍:0--180.

9.進(jìn)氣控制:兩路質(zhì)量流量計(MFC)控制.

10.工作氣體:空氣\氮氣\氬氣\氮氫混合氣\氬氦混合氣等均可; 也可接入無(wú)腐蝕性、無(wú)毒的工作液體溶液,例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO),接入工作液體需要選配接枝儀來(lái)配套使用。

11.進(jìn)氣壓力:通入空氣時(shí)常壓,接入鋼瓶時(shí),鋼瓶進(jìn)氣壓力調整到0.1-0.2Mpa

12.供電電源:~220V50Hz

13.外形尺寸(寬**高)mm:440ⅹ490ⅹ485

14.整機重量(約):30Kg

真空泵

標準配置為機械油泵:1)抽速:2/2)極限壓強:6*10-2   3)噪音;≤66db 4)抽氣KF16法蘭接口,排氣口KF25接口 5)電源線(xiàn)為陰插線(xiàn)

基本配置 

主機+真空系統(雙極機械真空油泵、油霧過(guò)濾器、真空管、KF16法蘭)、外加氣體軟管、樣品托盤(pán)、說(shuō)明書(shū)、電源線(xiàn)、合格證

七選配件

(一)機械油泵   型號:VRD-8 

1.抽速:2.2/  2.極限壓強:≤5*10-2  3.噪音;≤56db   4.工作環(huán)境溫度:5—45

(二)干泵(1  型號:GWSP150

1.抽速:2/  2.極限壓強:≤6    3.噪音;≤57db    

4.工作環(huán)境溫度:5--45℃ 

     干泵(2)型號: SPH10

1.抽速:2.8/ 2.極限壓強:≤2  3.噪音;≤55db

4.工作環(huán)境溫度:5--45℃ 

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